78.山巍[10]
体谅陈惊璆知道了真相对他心灵造成的巨大冲击,盛明安最近表现得一直很关怀他，纵容程度令熟识的人一再侧目。
陈惊璆语气丧丧地说他新买的别墅太空旷，希望有人住进去,可以热闹一点，顺理成章邀请到盛明安在他别墅里住到开学。
反倒是盛外公的家,只有周六日才回去一趟。
好在盛外公也有了自己丰富的晚年生活，每天参加各种老年人俱乐部,基本三餐不着家,别提有多快乐了。
至于盛氏企业,在度过芯片断供的危机后,盛外公便逐渐撇下事务,权柄逐渐转交给信任的下属,等下属能够独当一面,就是他退休的时候。
盛外公也想过将公司交给盛明安，想当然了,盛明安拒绝,外公就给他建了个人基金,以后每年拿分红就够了。
陈天鹤养了一帮律师团，这群人挺能干的，很快就捞出陈青琉,赶紧推他上腾辉集团领导位置并与陈天鹤本人割裂。
不过腾辉集团受创严重,产业大幅缩水，只能勉强保住一点根基,再加上陈青琉是个草包，腾辉集团能不能再创辉煌还是个未知数。
陈天鹤犯罪严重，量刑较大，被判无期徒刑。
郦裕华那位香港议员丈夫和女儿不服判决,正准备上诉，要陈天鹤死刑才甘心。
陈天鹤被判刑后，数次托人找陈惊璆，还做着父子相认、兄弟齐心的美梦，陈惊璆不堪烦扰，后来干脆不外出，要么躲在蓝河科技实验室，要么回到安保性能强悍的别墅，总之就是陌生人不能靠近的地方。
时间久了，陈天鹤那边只好放弃再骚扰陈惊璆。
九月底，科大已经开学一个月，作为研究生的陈惊璆和盛明安因领了研发euv样机的任务，因此还逗留在津市。
此时，蓝河科技实验室。
十几个穿着白色防护服的人站在一台重约180吨、散发着淡淡的银白色光芒的大机器前，准备euv样机的第一次激光雕刻试验。
站在最前排的三人分别是盛明安、陈惊璆和微电子科技的程院长，后面一排则是雷客、杜颂和林成建，以及慕名而来的曹书-记。
盛明安抬手比了一个手势，身后众人如遇到障碍物的鱼群般迅速散开，鱼贯而入，立在各自的操控岗位上监测数据。
与此同时，落地津市的华电科、华芯、紫光、华兴等半导体行业龙头的高层不约而同聚集在会议室内，每个人前面的电脑都放置着蓝河科技的股盘走势行情。
他们紧盯着手机，准备第一时间接收信息。
“怎么样？蓝河科技传出消息了没？”
“还没有。”
“唉！继续盯着，务必第一时间拿到消息。希望样机验收成功。”
类似的情形和对话分别在欧美、日韩等国的半导体龙头企业内部发生，他们也正在焦急等待海外华国一个规模不大却令人不敢小觑的科技公司的最新消息。
不过他们和国内企业家的愿望不同，他们在内心里不断发出恶狠狠的诅咒，尤其欧美国家诅咒最美，但愿蓝河科技的实验结果惨遭滑铁卢！
最好一直滑铁卢，永远不会成功！
很可惜他们注定会失望。
蓝河科技内，随着盛明安手势的指挥，矗立众人跟前的那台光刻机样机在漫长的一小时内完成了它的第一次验收。
样机看不见的内部，无数比头发丝还细的激光穿过几十个精密镜头后，准确击中锡液滴靶，四处分散的等离子体被收集，将掩膜版上的图形信息透过缩图透镜完完整整复刻到下面的晶圆，曝光晶圆。
一个小时后，各小组汇报结果。
“完成光刻试验任务，没有异常。”
“一小时内成功曝光160片晶圆，比目前已知的nex3400b机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多达35片！套刻误差不超过2nm！”
“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在原样机的基础上将效率提高至少18%，套刻误差提高到2nm以下。”
“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积-晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”
经过光刻机曝光后的一大块晶圆还需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分就会被当成废品处理。
稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。
而晶圆制作过程历经三百多个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。
一粒肉眼看不见的灰尘掉进正在制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在恒温、无尘车间内工作。
“其余数据稳定！稳定！稳定！”
“uv样机，实验验收完毕！”
“验收通过！”
……
一片无声沉默中，盛明安率先开口：“可以向上报告，准备新机研制和新项目研发。”
下一刻，实验室内猛然爆发欢呼，还有人喜极而泣，他们埋头苦干了四五年！
有人在这行甚至干了十年以上，还以为有生之年都不能看到国产euv的诞生，怎么能想得到不仅看到了、还是自己参与的项目！
所以怎么能不喜极而泣？怎能不相拥欢呼？
林成建眼睛有点湿了，他忽然很想钻回自己的小房间，拿出妻子的照片将喜悦分享给她。
国产euv的诞生代表了世界半导体市场资源将从美国向华国倾斜，高通之流的庞然大物再不能风光多久。
如果妻子知道了，她的在天之灵也会欣慰吧。
杜颂瞥见林成建湿了的眼眶，想到发生在他身上的悲惨往事，不由拍了拍的肩膀以示安慰。
这时陈惊璆转身宣布：“今年每个人都能拿到一年工资份额的年终奖！”
“！！”
全年双倍工资？！
所有人发自内心欢呼得更加雀跃了。
其他非蓝河科技的人虽艳羡但也知道国产光刻机的问世将会给他们各自所在的企业带来巨大利益，所以他们年底的年终奖必然也很丰厚，实在用不着羡慕人家。
蓝河科技国产euv样机验收通过的消息跟插了翅膀似的，迅速飞出去，首先得知消息的人当然是一早就关注蓝河科技实验验收的华兴、华芯、微电子科技和华电科等半导体龙头企业。
当天，华电科会议室门口的秘书听到会议室里头突然传来巨响，心里一惊，以为里面的人议论不和发生混战，正思考要不要报警时，却听里头爆发出洪亮的笑声。
“……”
秘书满心无语和好奇，侧耳倾听，隐约听出几个字，拼凑出来就是‘国产euv样机验收通过’……国产euv？！
这玩意儿不是几个月前就爆出验收通过了吗？
新闻和各大网络媒体连番播放了个遍，身在半导体行业，周边人张口闭口都是国产euv、国产芯片，仿佛买了国产芯片股票就能大发横财似的，连大老板都在抢着注资蓝河科技。
秘书打开电脑搜索才发现几个月前验收的不是euv而是光源系统，那么真正的国产euv样机被研发出来了？！
她耸然一惊，这是真正的大新闻！！
果不其然，下一刻就见高层们推开会议室的门鱼贯而出，走在前头的大老板语速飞快的叮嘱：“准备好合同和律师，明天——不！就今天、现在，立刻联系蓝河科技订购最先一批新机，asml光刻机？他们又不肯卖给我们最新的光刻机，一提到卖就推三阻四的，现在用不着买他们家的！”
“哈哈哈……”
老板们笑得很开心。
而相似的一幕正在国内各个半导体行业及其相关联的企业里发生，不仅半导体行业公司高兴得像是过大年，津市政府也高兴，半导体产业链里最难的一环终于填上，他们可以大展手脚带领津市电子经济腾飞了。
除半导体龙头企业、津市政府和国内各大相关联研究所先知道国产euv样机验收通过的消息，其次便是国内电子论坛，发烧友们又沸腾了。
【特大喜讯：国产euv样机通过国家大科学工程验收！】
【卧槽！有生之年啊卧槽！妈妈，我居然真的见证了国产euv样机？！】
【五万多个零件的euv，真的被造出来了？】
【准确来说是十万多个零件，只不过有些零件没有工艺难度，所以经常被忽略。】
【euv其实原理不难，就是零件和系统工艺简直是物理巅峰的难度，我国就输在起点太慢，缺乏几十上百年的工艺沉淀，我以为至少得二十年才能追上西方的物理工艺。】
【牛逼就一个词！】
【盛神是什么创造奇迹的神仙？】
【别人说：今年我要造出国产euv！吹！就tm使劲儿吹！摆明骗钱！盛神说：至少年底造出国产euv样机。吹……哦，盛神啊，那没事了。】
【我盛神还会提前超额完成科学大工程2333】
【你们说，盛神有没有可能拿到诺贝尔物理奖？】
【这……就光刻机而言，不太可能。不过量子纠错倒是有可能，可惜一时间不能让人看到太大的成效，盛神还有得等。】
【反正盛神还年轻啦。物理诺奖这玩意儿就是比谁命长。】
【……】
当晚，蓝河科技发布华国首台国产euv样机通过国家大科学工程验收的消息，很快冲上热搜，各个论坛又开始热闹了。
远在地球另一边的高通总部，大楼里灯火通明，脚步匆忙，保罗快速冲进老大办公室，莫伦科夫一见到人立刻站起，面色紧张地询问：“怎么样？”
保罗摇了摇头。
莫伦科夫顿时跌回座椅，沉默不语半晌，猛然砸了桌上的水杯。
荷兰，asml总部。
总部召开紧急会议，针对华国发布的uv制定应对方案，以及加紧研发10nm以下和5nm以下光刻机的脚步。
日本，尼康总部。
尼康株式会社：“我们应该和华国携手合作，但也不能放弃asml的注资。想来现在asml也不会傲慢的拒绝我们科研合作的请求。”
棒子国，三星总部。
三星老总：“准备与华国进行科研交流吧。”
消息同时上了推特和油管的热门搜索，不管底下的评论就不是国内的喜气洋洋，而是各种散发酸气的评论，其中棒子国籍的酸味最重。
【又是华国？他们怎么那么爱买推特的热搜？】
【华国光刻机？真可笑！一定又是偷了国外的最新科技吧！】
【真是没有见识的样子，我们三星早就研发出光刻机了吧。】
【emmm……就爱看棒子国嘴硬的样子，又自卑、又自大，不知道自己像跳梁小丑吗？】
【普通民众的一辈子被大财团奴役，还整天以大财团为荣，棒子国国民真是把奴性刻在骨子里。】
外网冲锋陷阵的华国网民也不少，看到这些酸气冲天的评论有一个怼一个，怼得对方哑口无言、己方身心舒爽，真是快乐。
申市光机所。
张群芳教授收到消息，连声说：“好！好！”对身边的学生王文娅说：“你盛师弟今晚刚发布了国产euv样机验收的成果。”
王文娅惊喜不已：“盛师弟真是厉害！”她遗憾盛明安不在申市，否则就逮着人去喝个痛快！
“盛师弟是真天才啊。”王文娅望着正在建立的艾瓦级超短激光装置，不由感叹：“前年他提出了超短激光装置的建模方案，我以为他以后会进我们光机所，在光学一路发光发热，还想着怎么利用自己的身份照顾他，没想到今年小师弟就搞出了光刻机。”
才两三年的光景，盛明安就到了她仰望的高位。
张群芳教授静静地说：“烈烈启明落于东方，这是媒体堆砌用词，疯狂吹他的句子，我一直觉得只有这一句没说错。”
烈烈启明，那是华国物理学术界的希望。
虽然将这名头冠在盛明安身上实属捧杀，但王文娅此刻却忽然想看看这希望是否成真。
“老师，盛师弟够资格参与国家特支计划评选吗？”
“还用你问？我早就写好推荐信了。”
王文娅闻言便笑了，充满干劲的说：“我们也不能输给盛师弟，明年夏季结束前，一定要完成超强超短激光装置这个大工程！”
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陈惊璆语气丧丧地说他新买的别墅太空旷，希望有人住进去,可以热闹一点，顺理成章邀请到盛明安在他别墅里住到开学。
反倒是盛外公的家,只有周六日才回去一趟。
好在盛外公也有了自己丰富的晚年生活，每天参加各种老年人俱乐部,基本三餐不着家,别提有多快乐了。
至于盛氏企业,在度过芯片断供的危机后,盛外公便逐渐撇下事务,权柄逐渐转交给信任的下属,等下属能够独当一面,就是他退休的时候。
盛外公也想过将公司交给盛明安，想当然了,盛明安拒绝,外公就给他建了个人基金,以后每年拿分红就够了。
陈天鹤养了一帮律师团，这群人挺能干的，很快就捞出陈青琉,赶紧推他上腾辉集团领导位置并与陈天鹤本人割裂。
不过腾辉集团受创严重,产业大幅缩水，只能勉强保住一点根基,再加上陈青琉是个草包，腾辉集团能不能再创辉煌还是个未知数。
陈天鹤犯罪严重，量刑较大，被判无期徒刑。
郦裕华那位香港议员丈夫和女儿不服判决,正准备上诉，要陈天鹤死刑才甘心。
陈天鹤被判刑后，数次托人找陈惊璆，还做着父子相认、兄弟齐心的美梦，陈惊璆不堪烦扰，后来干脆不外出，要么躲在蓝河科技实验室，要么回到安保性能强悍的别墅，总之就是陌生人不能靠近的地方。
时间久了，陈天鹤那边只好放弃再骚扰陈惊璆。
九月底，科大已经开学一个月，作为研究生的陈惊璆和盛明安因领了研发euv样机的任务，因此还逗留在津市。
此时，蓝河科技实验室。
十几个穿着白色防护服的人站在一台重约180吨、散发着淡淡的银白色光芒的大机器前，准备euv样机的第一次激光雕刻试验。
站在最前排的三人分别是盛明安、陈惊璆和微电子科技的程院长，后面一排则是雷客、杜颂和林成建，以及慕名而来的曹书-记。
盛明安抬手比了一个手势，身后众人如遇到障碍物的鱼群般迅速散开，鱼贯而入，立在各自的操控岗位上监测数据。
与此同时，落地津市的华电科、华芯、紫光、华兴等半导体行业龙头的高层不约而同聚集在会议室内，每个人前面的电脑都放置着蓝河科技的股盘走势行情。
他们紧盯着手机，准备第一时间接收信息。
“怎么样？蓝河科技传出消息了没？”
“还没有。”
“唉！继续盯着，务必第一时间拿到消息。希望样机验收成功。”
类似的情形和对话分别在欧美、日韩等国的半导体龙头企业内部发生，他们也正在焦急等待海外华国一个规模不大却令人不敢小觑的科技公司的最新消息。
不过他们和国内企业家的愿望不同，他们在内心里不断发出恶狠狠的诅咒，尤其欧美国家诅咒最美，但愿蓝河科技的实验结果惨遭滑铁卢！
最好一直滑铁卢，永远不会成功！
很可惜他们注定会失望。
蓝河科技内，随着盛明安手势的指挥，矗立众人跟前的那台光刻机样机在漫长的一小时内完成了它的第一次验收。
样机看不见的内部，无数比头发丝还细的激光穿过几十个精密镜头后，准确击中锡液滴靶，四处分散的等离子体被收集，将掩膜版上的图形信息透过缩图透镜完完整整复刻到下面的晶圆，曝光晶圆。
一个小时后，各小组汇报结果。
“完成光刻试验任务，没有异常。”
“一小时内成功曝光160片晶圆，比目前已知的nex3400b机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多达35片！套刻误差不超过2nm！”
“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在原样机的基础上将效率提高至少18%，套刻误差提高到2nm以下。”
“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积-晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”
经过光刻机曝光后的一大块晶圆还需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分就会被当成废品处理。
稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。
而晶圆制作过程历经三百多个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。
一粒肉眼看不见的灰尘掉进正在制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在恒温、无尘车间内工作。
“其余数据稳定！稳定！稳定！”
“uv样机，实验验收完毕！”
“验收通过！”
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下一刻，实验室内猛然爆发欢呼，还有人喜极而泣，他们埋头苦干了四五年！
有人在这行甚至干了十年以上，还以为有生之年都不能看到国产euv的诞生，怎么能想得到不仅看到了、还是自己参与的项目！
所以怎么能不喜极而泣？怎能不相拥欢呼？
林成建眼睛有点湿了，他忽然很想钻回自己的小房间，拿出妻子的照片将喜悦分享给她。
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杜颂瞥见林成建湿了的眼眶，想到发生在他身上的悲惨往事，不由拍了拍的肩膀以示安慰。
这时陈惊璆转身宣布：“今年每个人都能拿到一年工资份额的年终奖！”
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其他非蓝河科技的人虽艳羡但也知道国产光刻机的问世将会给他们各自所在的企业带来巨大利益，所以他们年底的年终奖必然也很丰厚，实在用不着羡慕人家。
蓝河科技国产euv样机验收通过的消息跟插了翅膀似的，迅速飞出去，首先得知消息的人当然是一早就关注蓝河科技实验验收的华兴、华芯、微电子科技和华电科等半导体龙头企业。
当天，华电科会议室门口的秘书听到会议室里头突然传来巨响，心里一惊，以为里面的人议论不和发生混战，正思考要不要报警时，却听里头爆发出洪亮的笑声。
“……”
秘书满心无语和好奇，侧耳倾听，隐约听出几个字，拼凑出来就是‘国产euv样机验收通过’……国产euv？！
这玩意儿不是几个月前就爆出验收通过了吗？
新闻和各大网络媒体连番播放了个遍，身在半导体行业，周边人张口闭口都是国产euv、国产芯片，仿佛买了国产芯片股票就能大发横财似的，连大老板都在抢着注资蓝河科技。
秘书打开电脑搜索才发现几个月前验收的不是euv而是光源系统，那么真正的国产euv样机被研发出来了？！
她耸然一惊，这是真正的大新闻！！
果不其然，下一刻就见高层们推开会议室的门鱼贯而出，走在前头的大老板语速飞快的叮嘱：“准备好合同和律师，明天——不！就今天、现在，立刻联系蓝河科技订购最先一批新机，asml光刻机？他们又不肯卖给我们最新的光刻机，一提到卖就推三阻四的，现在用不着买他们家的！”
“哈哈哈……”
老板们笑得很开心。
而相似的一幕正在国内各个半导体行业及其相关联的企业里发生，不仅半导体行业公司高兴得像是过大年，津市政府也高兴，半导体产业链里最难的一环终于填上，他们可以大展手脚带领津市电子经济腾飞了。
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【卧槽！有生之年啊卧槽！妈妈，我居然真的见证了国产euv样机？！】
【五万多个零件的euv，真的被造出来了？】
【准确来说是十万多个零件，只不过有些零件没有工艺难度，所以经常被忽略。】
【euv其实原理不难，就是零件和系统工艺简直是物理巅峰的难度，我国就输在起点太慢，缺乏几十上百年的工艺沉淀，我以为至少得二十年才能追上西方的物理工艺。】
【牛逼就一个词！】
【盛神是什么创造奇迹的神仙？】
【别人说：今年我要造出国产euv！吹！就tm使劲儿吹！摆明骗钱！盛神说：至少年底造出国产euv样机。吹……哦，盛神啊，那没事了。】
【我盛神还会提前超额完成科学大工程2333】
【你们说，盛神有没有可能拿到诺贝尔物理奖？】
【这……就光刻机而言，不太可能。不过量子纠错倒是有可能，可惜一时间不能让人看到太大的成效，盛神还有得等。】
【反正盛神还年轻啦。物理诺奖这玩意儿就是比谁命长。】
【……】
当晚，蓝河科技发布华国首台国产euv样机通过国家大科学工程验收的消息，很快冲上热搜，各个论坛又开始热闹了。
远在地球另一边的高通总部，大楼里灯火通明，脚步匆忙，保罗快速冲进老大办公室，莫伦科夫一见到人立刻站起，面色紧张地询问：“怎么样？”
保罗摇了摇头。
莫伦科夫顿时跌回座椅，沉默不语半晌，猛然砸了桌上的水杯。
荷兰，asml总部。
总部召开紧急会议，针对华国发布的uv制定应对方案，以及加紧研发10nm以下和5nm以下光刻机的脚步。
日本，尼康总部。
尼康株式会社：“我们应该和华国携手合作，但也不能放弃asml的注资。想来现在asml也不会傲慢的拒绝我们科研合作的请求。”
棒子国，三星总部。
三星老总：“准备与华国进行科研交流吧。”
消息同时上了推特和油管的热门搜索，不管底下的评论就不是国内的喜气洋洋，而是各种散发酸气的评论，其中棒子国籍的酸味最重。
【又是华国？他们怎么那么爱买推特的热搜？】
【华国光刻机？真可笑！一定又是偷了国外的最新科技吧！】
【真是没有见识的样子，我们三星早就研发出光刻机了吧。】
【emmm……就爱看棒子国嘴硬的样子，又自卑、又自大，不知道自己像跳梁小丑吗？】
【普通民众的一辈子被大财团奴役，还整天以大财团为荣，棒子国国民真是把奴性刻在骨子里。】
外网冲锋陷阵的华国网民也不少，看到这些酸气冲天的评论有一个怼一个，怼得对方哑口无言、己方身心舒爽，真是快乐。
申市光机所。
张群芳教授收到消息，连声说：“好！好！”对身边的学生王文娅说：“你盛师弟今晚刚发布了国产euv样机验收的成果。”
王文娅惊喜不已：“盛师弟真是厉害！”她遗憾盛明安不在申市，否则就逮着人去喝个痛快！
“盛师弟是真天才啊。”王文娅望着正在建立的艾瓦级超短激光装置，不由感叹：“前年他提出了超短激光装置的建模方案，我以为他以后会进我们光机所，在光学一路发光发热，还想着怎么利用自己的身份照顾他，没想到今年小师弟就搞出了光刻机。”
才两三年的光景，盛明安就到了她仰望的高位。
张群芳教授静静地说：“烈烈启明落于东方，这是媒体堆砌用词，疯狂吹他的句子，我一直觉得只有这一句没说错。”
烈烈启明，那是华国物理学术界的希望。
虽然将这名头冠在盛明安身上实属捧杀，但王文娅此刻却忽然想看看这希望是否成真。
“老师，盛师弟够资格参与国家特支计划评选吗？”
“还用你问？我早就写好推荐信了。”
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